1． 園光柵編碼器

園光柵編碼器的轉(zhuǎn)動(dòng)部位上裝有兩片園光柵，園光柵由玻璃片或透明塑料制成，并在片上鍍有明暗相間的放射狀鉻線，相鄰的明暗間距稱為一個(gè)柵節(jié)，整個(gè)園周總柵節(jié)數(shù)為編碼器的線脈沖數(shù)。鉻線的多少也表示精度的高低。其中一片光柵 固定在轉(zhuǎn)動(dòng)部位作指標(biāo)光柵，另一片則隨轉(zhuǎn)動(dòng)軸同眇運(yùn)動(dòng)并用來(lái)計(jì)數(shù)，因此指標(biāo)光柵與轉(zhuǎn)動(dòng)光柵組成一對(duì)掃描系統(tǒng)，相當(dāng)于計(jì)數(shù)傳感器。園光柵編碼器裝在伺服電機(jī)中，它可測(cè)出轉(zhuǎn)動(dòng)件的位置、角度及角加速度，它可以將這些物理量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輿給控制系統(tǒng)。編碼器能記錄絲桿的放置數(shù)并將信息反饋給比較器，直至符合被線性量。該系統(tǒng)抗干擾性強(qiáng)，測(cè)量精度取決于編碼器中光柵盤上的光柵數(shù)及溢珠絲桿導(dǎo)軌的精度。

2.磁柵尺

由磁柵尺和磁頭檢測(cè)電路組成，利用電磁特性和錄磁原理對(duì)位移進(jìn)行測(cè)量。磁柵尺是在非導(dǎo)磁性標(biāo)尺基礎(chǔ)上采用化學(xué)涂覆或電鍍工藝在非磁性標(biāo)尺上沉積一層磁性膜（一般10～20um）在磁性膜上錄制代 表一定年度具有一定波長(zhǎng)的方波或正弦波磁軌跡信號(hào)。磁頭在磁柵尺上移動(dòng)和讀取磁恪，并轉(zhuǎn)變成電信號(hào)輸入到控制電路，控制AC伺服電機(jī)的運(yùn)行。磁柵尺的優(yōu)點(diǎn)是制造簡(jiǎn)單、安裝方便、穩(wěn)定性高、量程范圍大，測(cè)量精度高達(dá)1～5um，貼片精度一般在0.02mm。

3.光柵尺

由光柵尺、光柵讀數(shù)頭與檢測(cè)電路組成。光柵尺是在透明下班或金屬鏡面上真空沉積鍍膜，利用光刻技術(shù)制作均勻密集條紋（每毫米100～300 條），條紋距離相等且平等。光柵讀數(shù)頭由指示光柵、光源、透鏡及光敏器件組成，光柵尺有相同的條紋，光柵尺是根據(jù)根據(jù)物理學(xué)的莫爾條紋形成原理進(jìn)行位移測(cè)量，精度高達(dá)0.1～1um，其定位精度比磁柵尺還要高1～2 個(gè)數(shù)量級(jí)。光柵尺對(duì)環(huán)境要求比較高，特別是防塵，塵埃落在光尺上會(huì)引起貼片機(jī)故障。上述三種測(cè)量方法僅能對(duì)單軸向運(yùn)動(dòng)位置的偏差進(jìn)行檢測(cè)，而對(duì)導(dǎo)軌的變形、彎曲等因素造成的正交或旋轉(zhuǎn)誤差卻無(wú)能為力。